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110Vac & 220Vac

85 - 264 VAC; 120 - 300 VDC

90 - 264 VAC, 127 - 300 VDC

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3.21"*2.21"*1.13"

0.267*0.825*0.846

0.375*1.95*1.55

0.4*0.774*0.242

0.45 x 0.40 x 0.3

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產品資料

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光線溫度傳感器Luxtron

光線溫度傳感器Luxtron

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如果您對該產品感興趣的話,可以

產品名稱: 光線溫度傳感器Luxtron

產品型號: Luxtron m920

產品展商: Advanced Energy

產品文檔: 無相關文檔

簡單介紹

用于 OEM -100oC 至 330oC 的光纖溫度傳感系統 Advanced Energy 的 Luxtron 四通道 m924 和雙通道 m922 半導體模塊經過精心設計，可對蝕刻器和靜電吸盤、腔室和其他設備等晶圓制造設備進行溫度監測。混合和匹配組件可使用當前半導體 Luxtron 品牌 Fluoroptic 探頭和光纖延長線內置校準表可匹配定制 AE 探頭，實現高精度測量 *大可實現精度為 ±0.05°C（視探頭而定)

光線溫度傳感器Luxtron 的詳細介紹

完整的 Luxtron® m920 系列 OEM 解決方案采用電子模塊組件制造，配備兩個主板和探頭。主板包含光纖溫度傳感通道、數字輸出（RS232 ASCII 和 RS485 Modbus）和電源連接。模擬輸出板安裝在主板上方，提供 0 至 10 V 或 4 至 20 mA 輸出。還可以選擇金屬外殼。

m920 系列系統采用 Fluoroptic® 技術。m920 系列主板可對來自 Fluoroptic 探頭的測量信號進行調制，然后將校準的溫度報告給 OEM 控制系統。

優點

為不同的蝕刻和晶圓制造過程實現高精度和高溫范圍
以快速采樣率監測更快的斜坡條件
使用這種低噪聲解決方案獲得更**的溫度測量結果
充分利用產品的出色可靠性，降低故障率
獲得支持在全球范圍內支持定制集成和探頭設計

特點

雙通道或四通道，借助 RS485 Modbus 可擴展至多達 64 通道
單 PCB 設計，具有模擬輸出和金屬外殼等選項
高電壓、射頻、等離子體和微波等不會對探頭產生電磁干擾
可向后兼容 Advanced Energy 彈簧加載和 Accudisc 探頭
可為半導體應用提供定制探頭

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